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工作中的抽速,极限真空和节流

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-25 0:28:14 * 浏览: 2
选择和使用氦质谱仪时,请注意工作真空度Pp。极限真空pL和节气门的抽速Sj。这些是仪器的重要参数。在检漏的情况下,除了试件可能的泄漏外,不可避免地会放气。如果不增加辅助真空系统,则泄漏的总气流和试件Qo + y-QiE参考公式(13-1)的虚拟泄漏量将全部通过泄漏检测器系统。为了确保仪器的正常运行,应满足以下条件:可以看出,工作压力pp越高,节气门处的抽速Sj越大,检漏仪越合适。对于严酷条件下的泄漏检测,这对于大型容器泄漏检测尤为重要。 SjPp是一种相对较小的仪器,仅适用于排气良好的小型设备的泄漏检测。仪器的pp值不宜过低。因为仪器运行时需要很长时间才能达到低pp。 pp通常在10 ^ -2Pa〜10 ^ -3Pa的范围内选择。如果在泄漏检测期间质谱仪室内的压力太低,则将气体量QT通过针形阀放置,以使质谱仪室的压力达到Pp的值。如果节气门的抽速为Sj,即QT = SjPp。从公式(13-46),我们可以知道,对于给定的仪器,qmin是一个步行值。因此,Sjpp越大,QT越大,Ymin越小,即仪器的浓度越小,灵敏度越高,则对于泄漏检测越有利。当对泄漏和排气量较大的试件进行泄漏检测时,Sjpp越大越好。由于此时必须添加辅助真空系统以帮助仪器泵送空气,因此辅助系统的分流功能将降低泄漏检测的灵敏度。但是,Sjpp越大,辅助系统的分流功能越小,检漏灵敏度也越小。